Futur
Seit 1984 baut ALMATEC Spezialpumpen für Chemikalienversorgung und Badumwälzung in der Halbleiterindustrie. Die neueste Generation ist die Futur, eine Pumpenbaureihe speziell entwickelt für die besonderen Anforderungen dieses Bereiches.
Die Werkstoffvarianten für die unterschiedlichen Einsatzfälle in der Halbleiterindustrie:
- 4 Baugrössen in PTFE/UPPE für Säuren und Laugen bis 100°C (Typ FUTUR T)
- 2 Baugrössen in PTFE für Heissanwendungen von Säuren und Laugen bis 200°C (Typ FUTUR H)
- 4 Baugrössen in UPPE für Poliermittel
(Typ FUTUR E) - 2 Baugrössen in Edelstahl 1.4404 für Lösemittel (Typ FUTUR S)
Die verschiedenen Baugrössen erzielen max. Fördermengen zwischen 10 und 200 l/min.
Für jede Werkstoffvariante und Baugrösse stehen entsprechende Pulsationsdämpfer zur Verfügung. In der Abbildung ist das Funktionsprinzip dargestellt.
Alle Pumpen der Baureihe Futur sind trockenlaufsichere und selbstansaugende Druckluft-Membranpumpen. Sie weisen einen kompakten, einfachen Aufbau mit nur wenigen Teilen auf. Die Massivbauweise der Gehäuseteile sorgt für eine lange Lebensdauer.
Reinigung, Montage und Endprüfung der Futur Pumpen erfolgt in einer Reinraumlinie der Klasse 100.
Weitere Merkmale der Baureihe Futur im Überblick:
- vier Werkstoffvarianten (T, H, E, S) für die unterschiedlichen Anwendungsbereiche
- absolute Metallfreiheit (T, H, E)
- Temperaturbereich bis 200°C (H)
- patentierte berührungslose Kaskadendichtung zwischen den Produktkammern
- keine produktberührten O-Ring-Dichtungen
- Innendurchströmung des Fördermediums mit nur einem produktberührten Gehäuseteil
- schmierungs- und wartungsfreies Luftsteuersystem PERSWING P ®
- interne Luftführung
- Membranen ohne Teller und Dichtungen, mit optimierter Membrangeometrie
- flächendichtende Zylinderventile
- kompakter, einfacher Aufbau mit wenigen Teilen, geringer Platzbedarf
- Massivbauweise
- leichte Demontage und Montage
- keine Befestigungselemente wie Zuganker, Muttern oder Spannbänder
- separater Pulsationsdämpfer für alle Werkstoffvarianten und Baugrössen
- einfache Nachrüstung eines Membran- und/oder Hubzählsensors
- geringer Geräuschpegel
- bis zu 2 Jahren Gewährleistung, auch auf Verschleissteile
Weitere Infos:
Bedienungsanleitung (pdf 736kb)
Erstatzteilliste (pdf 71kb)
Explosionszeichnungen (pdf 261kb)
Kennlinien (pdf 196kb)
Massblätter (pdf 136kb)
Technische Daten (pdf 34kb)